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  SGIO-T001掩膜版清洗裝置/Mask Cleaner
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產(chǎn)品型號(hào)O-T001
產(chǎn)品單位1臺(tái)
生產(chǎn)廠家SGI
出廠年份2000年
產(chǎn)品用途液晶顯示器制程中,掩膜版(光罩)的自動(dòng)清洗
產(chǎn)品說明
1.掩膜版尺寸:550(W) * 450(L) * 5(t) mm
2.處理流程:LD → 處理槽 → 純水(QDR)槽 → 溫純水提升干燥槽 → ULD
3.節(jié)拍時(shí)間:3min/片
4.設(shè)備內(nèi)部潔凈度:Class 10以下。設(shè)置環(huán)境:Class 1,000
5.處理方式:一次一片,不使用Cassette!
詳細(xì)資料請(qǐng)下載附件!
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液晶設(shè)備聯(lián)系人:尹先生 觸摸材料聯(lián)系人:殷小姐
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